小孔加工是电火花穿孔成型加工的一种应用。其特点是：加工面积小，深度大，直径一般为0.1～2毫米，深径比达20以上；小孔加工均为盲孔加工，排屑困难。
（1）电极材料的选择。宜选择刚性好、容易矫直、加工稳定性好和损耗小的材料，如铜钨合金丝、钨丝、钼丝、铜丝等。较为常用的材料有紫铜、黄铜、铜钨合金细杆和较粗的钨丝和铜丝等。加工时为了避免电极弯曲变形，还需设置工具电极的导向装置。
（2）电极的反拷加工。用机加工制造直径很小的细长电极较为困难，故多采用电火花反拷加工。在机床工作台上用一块长约50毫米、厚5毫米耐电火花腐蚀的铜钨合金或硬质合金块作为反拷电极，其工作面必须磨过，并校正到与坐标方向平行。要修拷的电极夹在主轴夹头内，可随主轴旋转和上下运动。然后用图16中的方法进行粗拷、开空刀槽和精拷加工。粗加工余量以0.2～0.3毫米为宜；精加工余量以0.02～0.05毫米为宜；在要求高一些的场合，还应进行超精反拷加工，加工余量为5～10微米，使Ra小于0.32微米。
（3）小孔电火花加工规准的选择，主要根据孔径、精度、深度、机床条件等因素综合考虑。一般采用一挡规准加工到底，只有在孔径发生变化时才转换规准。
（4）对于孔径大于1毫米的孔，如果加工前没有预孔，可用铜管作电极打出预孔；对于孔径小于1毫米的小孔，用实心电极加工时，可以把电极拷扁，以利排屑。所谓拷扁，就是将电极圆周沿轴向拷掉一部分。拷扁部分一般为直径的1/6～1/8，太小效果不明显；太大则电极刚性不好，损耗增大。
（5）小孔电火花加工采用RC线路脉冲电源有很大的优越性。其线路简单、成本低，单个脉冲能量很小，且瞬时放电的峰值电流较大，抛出材料汽化百分比和抛出力较大，可以得到较好的表面粗糙度和加工稳定性。
（6）为了改善小孔加工时的排屑条件，使加工过程稳定，常采用电磁振动头，使工具电极丝沿轴向振动，或采用超声波振动头。
（7）为了减少孔的锥度，在孔加工通后，可继续上下研磨几次，直到不放电火花为止。
（8）如果机床主轴有旋转功能，可采用旋转头附件使工具电极转动，或使工件转动，不但可以提高加工速度，还可以提高加工小孔的圆度。