从1956年在无线电系筹办半导体专业至今，已过去44年；从1980年微电子学研究所成立至今，也已整整20年。我一直是一个与微电子所有较多渊源的“局外人”。有不少印象很深的事，记录几件，表达我对微电子学所成立20周年的真情和祝愿。
一、感谢与怀念
我们特别感谢校外四位老同志对半导体专业建设给予的关心和支持：北大黄昆教授（后调到中科院），中科院王守武教授，原四机部部长王诤和副部长、十院院长孙俊人同志。
当然，我们同样感谢国务院有关部委的各级领导同志，以及兄弟学校、研究院所和企业的同行们，包括很多校友们，给予我们的关心和支持。
我们深切怀念过早离开的梁培虎、龙辉、徐葭生、费圭甫和庄同曾同志，他们为半导体专业和微电子所的建设奉献了全部心血和各具特色的才华。
二、硅材料、器件和集成电路
李志坚同志在苏联留学毕业前，南德恒等同志就正式函请他来清华工作。1958年他回国当天即到学校，很快投入工作，与提前抽调的青年教师和本专业同学进入了“大跃进”年代。1959年，30岁的李志坚任教研组主任，主持专业建设的全面工作，白手起家。在起步阶段，以他为主导解决了专业发展的两大问题。首先是冷静而机智地对待了“大跃进”刮起的“浮夸风”和“批判风”，没有干什么蠢事，又始终保持了自力更生的充足干劲；更重要的是在起初“全面开花”的许多学术发展方向中，选定国际上刚起步的硅材料和器件技术为主导的学科建设方向，规划师资队伍，抓好实验室建设。确立这个方向是很正确的，又是很不容易的。1963年我校即酝酿发展硅集成电路，1964年开始研制。四十多年过后回头再看，当时的选择使学校在微电子领域的人才质量、学术水平、研究成果一直处于国内前列，是何等重要，对专业和研究所长期的顺利发展有决定意义。李志坚同志一直起着主导作用。
三、微电子所新的征程
1978年绵阳分校撤销后，专业的主力回到了清华园，与留京的半导体车间合并。今后怎么发展，这是一个对专业、对学校都关系重大的事情。当时半导体专业的领导骨干南德恒、李志坚、杨之廉、徐葭生等都要求干大事，而学校很有远见。根据十一届三中全会的精神和世界微电子学迅速发展的形势，学校十分珍视经过“文革”劫难仍然保留下来的可贵的高素质队伍和正确的研究方向，决定：第一，建设新的高标准的微电子实验研究大楼，这是在“文革”后建设的第一座7000平方米的科技基地；第二，成立微电子学研究所，承担国家有关研究任务和培养研究生，相关专业本科学生的教学任务也由研究所承担，而其他教育管理工作仍在无线电电子学系，这是一个妥善的安排；第三，通过可能的渠道，引进1～1.5微米超大规模集成电路的关键设备和其他精神仪器，当因种种原因，已确定的经费迟迟没有拨下来，使引进的某些重大设备受阻时，高景德校长几次明确表态“当了裤子也要办”，经过张孝文副校长对国务院几大部委有关单位卓有成效的工作，这笔钱最终拨到了学校。
80年代中后期，微电子学研究所在国内有关单位和同行中甚为瞩目，得到上级的支持和关注，当然在社会上也有各种议论。当遇到非议和怀疑时，作为一个“局外人”，我常不无自豪地说：“国内有哪个单位花那么少的钱，建成了这样的实验室，引进了这些设备；有哪个单位由那么少的人，干了这样多的事，出这样高水平的成果。”有时有这样的情况：外面某些单位在与外商谈判时，对方提出超高的价格，他们就请外国人来清华微电子所参观，让外商知道中国并不像他们想像的那样落后，我们不是傻瓜。这成为谈判“砍价”的重要筹码。这些都是微电子学所员工夜以继日高水平工作的效果。
90年代以来，微电子学所的工作继续蒸蒸日上，领域逐步扩大，水平日益提高，国际交流有很大进展。我在1994年底离休，这几年对微电子学所的三件事印象颇深：一是在长期预研的基础上，完成了新器件的开发，如硅集成微马达、微型泵、非接触式IC卡芯片等；二是与IBM建立合作关系，并由此带动某些跨国公司对我校的支持，获得了一批可配套的亚微米工艺和检测设备，建立了0.5～0.8微米工艺线，并可开发深亚微米集成电路；三是第二座新建实验大楼虽未能落实，但原有大楼中心空间加盖两层共1000平方米，在一定程度上改善了科研、办公环境。
我衷心希望微电子学所继承和发扬“严谨、精深、前瞻、创造”的学术传统，在改革和发展中水平更高、实力更强、贡献更大。